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title: "全国首台国产商业电子束光刻机在杭 “出炉”"
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description: "全国首台国产商业电子束光刻机 “羲之” 在杭州完成应用测试，精度与国际主流设备相当，标志着量子芯片研发进入新阶段。该设备由浙大余杭量子研究院自主研发，具备在微米级别进行精细雕刻的能力，已正式投入市场。"
datetime: "2025-08-14T01:19:35.000Z"
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# 全国首台国产商业电子束光刻机在杭 “出炉”

据杭州日报，近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机 “羲之” 已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了 “中国刻刀”。在测试现场，浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的 ‘纳米神笔’！” 团队负责人告诉记者，依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机 “羲之” 已正式投入市场。

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