公司主要从事集成电路制造过程中所需晶圆加工设备的研发、生产和销售，面向全球集成电路制造厂商提供包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备在内的集成电路制造设备及配套工艺解决方案。主要从事集成电路制造过程中所需晶圆加工设备的研发、生产和销售。公司主要产品为提供干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备、等离子体表面处理设备。