全國首台國產商業電子束光刻機在杭 “出爐”

據杭州日報，近日，作為基地首批簽約孵化項目之一，全國首台國產商業電子束光刻機 “羲之” 已進入應用測試，其精度比肩國際主流設備，標誌着量子芯片研發從此有了 “中國刻刀”。在測試現場，浙大餘杭量子研究院相關團隊緊張忙碌着，一台模樣酷似大型鋼櫃的機器正在做應用測試，電子顯示屏上不斷閃爍着實時參數。“這不是普通的機器，而是一支能在頭髮絲上雕刻出整座城市地圖的 ‘納米神筆’！” 團隊負責人告訴記者，依託省重點實驗室，這台研究院自主研發的新一代 100kV 電子束光刻機 “羲之” 已正式投入市場。