至純科技：濕法設備在 28 納米節點設備開發已完成 取得部分先進製程節點工藝訂單

至純科技在互動平台表示，目前濕法設備在 28 納米節點設備開發已經全部完成，且全工藝機台均有訂單，在更先進製程節點，也已取得部分工藝訂單，尤其在高温硫酸、FINETCH、單片磷酸等尚被國際廠商壟斷的機台，公司交付和驗證進度都在國內領先。