公司主要從事集成電路制造過程中所需晶圓加工設備的研發、生產和銷售，面向全球集成電路制造廠商提供包括幹法去膠設備、快速熱處理設備、幹法刻蝕設備在內的集成電路制造設備及配套工藝解決方案。主要從事集成電路制造過程中所需晶圓加工設備的研發、生產和銷售。公司主要產品為提供幹法去膠設備、快速熱處理設備、幹法刻蝕設備、等離子體表面處理設備。