【至纯科技】半导体制程设备 14nm-7nm 订单交付，芯片良率提升核心环节

【至纯科技】（603690）半导体制程设备 14nm-7nm 订单交付，芯片良率提升核心环节

半导体制程设备龙头地位稳固，深度受益华为、中芯扩产。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，核心客户均为行业一线用户如中芯国际、华虹、华力、华为、长江存储、合肥长鑫等，2023 年一季度，公司新增订单 21 亿元，在手订单保持高增长。H 扩产清洗设备最受益标的，2023 年订单目标 55 亿（半导体设备 20 亿 ）。 

芯片良率提升重要环节。公司采用国际主流清洗技术 Nano Spray，实现芯片良率大幅提升，此前日韩掌控 95% 的市场占有率。 

14nm-7nm 设备验证重大突破。近期公司已经完成 14nm-7nm 设备 7 台订单交付（量价增长 30% 以上），率先突破 14nm 及以下制程的湿法设备的研发。公司具备 28nm 及以上湿法去胶、刻蚀、清洗、刷洗等湿法工艺全系列的设备研发生产能力，覆盖先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域。 

日本半导体设备出口限制三季度开始实施，湿法清洗设备加速国产替代，借此公司预计市占率将达到 70%。 

公司产品延伸至光伏、面板等泛半导体领域，持续拓宽产品线。光伏领域已获得 N 型电池产线湿法生产设备，已经与头部企业隆基、通威、润阳、晶科等实现对接供货。