智通财经 APP 讯，普达特科技 (00650) 发布公告，公司已从一个客户处获得一台半导体高温硫酸清洗 (高温 SPM) 设备 (该设备) 的样机订单。该设备目前已处于组装与测试阶段，前期已通过客户的多项工艺性能测试与马拉松测试，部分指标达到国际领先水平，显著推进了国产高温 SPM 清洗设备打破海外垄断的进程。该样机订单的收入暂未确认。据董事经作出一切合理查询后所深知、尽悉及确信，于本公告日期，该客户及其最终实益拥有人为独立于公司及其关连人士的第三方。该设备采用高温 SPM 清洗工艺，可覆盖 12 英寸晶圆关键制程的 PR-strip、Post CMP、NiPt remove 等多种应用，是业界公认的高难度湿法工艺，市场目前由海外设备供应商垄断。公司研发的该设备，具备国内领先、国际一流的高温控制能力，可覆盖至 190°C 的高温 SPM 工艺，经马拉松验证，终端工艺腔体高温硫酸温控范围±2°C，优于主要海外供应商的±5°C。该设备通过 NiPt remove 工艺 demo 测试，在高挑战性的工况下取得了与国际基准产品对齐的测试结果。该设备在设计方面，采用了化学供液系统与工艺腔室集成化的设计，保证了更大的工艺兼容性与灵活的应用配置，可为客户提供更具综合竞争力与性价比的解决方案。下一阶段，公司将致力于完成该设备的交付与验证，并扩大客户在高端应用领域对集团的设备的采用，充分发挥公司技术团队在半导体湿法技术方面的优势，解决行业痛点，提高客户效率，继续推动高端半导体设备国产化。

普达特科技

普达特科技获得一台半导体高温硫酸清洗设备的样机订单，该设备已进入组装与测试阶段，部分指标达到国际领先水平。该设备采用高温 SPM 清洗工艺，具备国内领先、国际一流的高温控制能力，市场目前由海外设备供应商垄断。公司将致力于完成设备的交付与验证，推动高端半导体设备国产化。