俄亥俄州立大学订购了 AIXTRON CCS MOCVD 系统以用于氧化镓器件的开发

Reuters
2025.11.20 06:32
portai
我是 PortAI,我可以总结文章信息。

俄亥俄州立大学已选择 Aixtron SE 的 CCS MOCVD 系统用于氮化镓和铝镓氧化物材料及器件的研究与开发。该系统将安装在纳米技术西实验室,并用于 100 毫米基板上的外延生长。CCS MOCVD 系统以生产高质量、均匀的薄膜而闻名,支持学术研究和工业应用