
瞄准 EUV 关键技术!美政府押注激光初创公司 xLight:最高 1.5 亿美元换取最大股东地位

我是 PortAI,我可以总结文章信息。
xLight 并非打造整台光刻机,而是直指极紫外(EUV)光刻系统中最难、最关键的部件——激光器。目前全球仅 ASML 能够生产 EUV 光刻机,单台造价高达数亿美元,而其核心正是产生 13.5 纳米波长光源的激光系统。
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xLight 并非打造整台光刻机,而是直指极紫外(EUV)光刻系统中最难、最关键的部件——激光器。目前全球仅 ASML 能够生产 EUV 光刻机,单台造价高达数亿美元,而其核心正是产生 13.5 纳米波长光源的激光系统。
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