我是 LongbridgeAI，我可以总结文章信息。上海人工智能实验室及其合作伙伴成功生产了氪氟（KrF）光刻树脂，这是一种对芯片制造至关重要的材料，可能减少中国对进口的依赖。这一突破利用了一个基于人工智能的合成平台，提高了生产效率和质量。该平台基于 Intern-S1 模型，自动化实验以确保结果的一致性，解决了传统树脂开发中的挑战。与恒坤新材科技合作，团队旨在将该产品商业化，目前正进入客户验证阶段
（第一财经）5 月 12 日——上海人工智能实验室与多个研究合作伙伴实现了氟化氪（KrF）光刻树脂的稳定生产，这是一种用于芯片制造的关键材料，这一突破可能减少中国对进口高端光刻胶的依赖。
由上海人工智能实验室、厦门大学和苏州国家实验室组成的联合团队开发了一个基于人工智能的智能合成平台，能够生产高纯度、高一致性和高效率的 KrF 光刻树脂，上海实验室昨日宣布。该开发有助于缓解供应限制并降低中国半导体行业的材料成本。
光刻胶在芯片蚀刻过程中用于涂覆硅晶圆并阻挡光线，从而形成设计的电路图案。根据声明，高端光刻胶市场长期以来一直被日本、欧洲和美国的少数几家公司主导，使得中国的芯片行业严重依赖进口。
研究团队表示，该平台基于上海人工智能实验室开发的 Intern-S1 科学多模态模型。该系统能够独立生成实验计划、优化参数和预测结果，显著提高研发效率。
传统的树脂材料开发严重依赖研究人员的手动试错筛选，导致开发周期长且操作不一致，难以满足半导体行业严格的批次稳定性要求。
该平台还具备物理执行能力，能够自动控制多个反应器和工作站，以闭环过程完成实验。这有助于防止因手动操作导致的氧气、水蒸气和金属杂质的污染，从而确保树脂质量的稳定。
为了加速商业化，研究团队已与国内半导体材料开发商恒坤新材合作进行光刻树脂配方的准备。关键产品性能指标已达到预期目标，该材料将进入客户验证阶段，人工智能实验室补充道。
编辑：Emmi Laine