
公司成立于 2002 年,是由中科院沈阳自动化研究所发起创建的国家高新技术企业,致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案,2019 年 12 月 16 日,公司在上交所科创板上市,成为 “辽宁省科创板第一股”。公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售。公司产品主要包括光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。企业荣誉:公司先后获得 “全国第一批专精特新 ‘小巨人’”、“国家级知识产权优势企业”、“国家高技术产业化示范工程”、“国家级企业技术中心”、“国内先进封装领域最佳设备供应商”、“辽宁五一劳动奖状”、“第六届全国专业技术人才先进集体”、“全国五一劳动奖状” 等多项殊荣,公司产品先后获得 “国家战略性创新产品”、“国家重点新产品”、“辽宁省科学技术进步一等奖”、“辽宁省制造业单项冠军产品”“工业互联网平台 + 云端研发试点示范”“第八届 IC 创新奖” 等多项荣誉。