盛美上海

公司成立于 2005 年，是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业，是具备世界先进技术的半导体设备制造商。公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售。公司主要产品为前道半导体工艺设备，包括清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影 Track 设备、等离子体增强化学气相沉积 PECVD 设备、无应力抛光设备;后道晶圆级先进封装工艺设备、面板级先进封装设备以及硅材料衬底制造工艺设备等。公司连续多年被评为 “中国半导体设备五强企业”，入选首批上海市科学技术委员会颁发的 “上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室”。获得 2021 年度上海集成电路企业半导体设备业销售前五名。公司前道铜互连电镀设备荣获第五届 “IC 创新奖 - 成果产业化奖”。公司被评为上海市 “专精特新” 企业、国家级 “专精特新小巨人企业”、上海市企业技术中心、荣获浦东新区川沙新镇人民政府 “2022 年度公益慈善奖”、“上海市创新型企业总部”、“上海市制造业单项冠军企业”、上海市专利示范企业等荣誉。2022 年获浦东新区大企业开放创新中心 (GOI) 挂牌。