MKS Inc. 在美国、中国、韩国、日本、台湾、新加坡及国际市场提供半导体制造、电子和包装以及特种工业应用的基础技术解决方案。该公司通过真空解决方案部门(VSD)、光子解决方案部门(PSD)和材料解决方案部门(MSD)进行运营。其 VSD 部门提供基础技术解决方案,包括压力测量与控制、流量测量与控制、气体和蒸气输送、气体成分分析、电子控制技术、反应气体生成与输送、发电与输送,以及光纤温度和位置传感