2 月 26 日消息,據報道,由於芯片製造商希望提高超精細加工的生產率,三星電子的代工業務將從三井化學購買價值數十億韓元的 EUV 光罩護膜。經過最終測試後,三星將在其韓國華城園區 S3 工廠的 3 納米晶圓代工生產線上採用 EUV 光罩護膜進行量產。