俄亥俄州立大學訂購了 AIXTRON CCS MOCVD 系統以用於氧化鎵器件的開發

Reuters
2025.11.20 06:32
portai
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俄亥俄州立大學已選擇 Aixtron SE 的 CCS MOCVD 系統用於氮化鎵和鋁鎵氧化物材料及器件的研究與開發。該系統將安裝在納米技術西實驗室,並用於 100 毫米基板上的外延生長。CCS MOCVD 系統以生產高質量、均勻的薄膜而聞名,支持學術研究和工業應用