我是 LongbridgeAI，我可以總結文章信息。上海人工智能實驗室及其合作伙伴成功生產了氪氟（KrF）光刻樹脂，這是一種對芯片製造至關重要的材料，可能減少中國對進口的依賴。這一突破利用了一個基於人工智能的合成平台，提高了生產效率和質量。該平台基於 Intern-S1 模型，自動化實驗以確保結果的一致性，解決了傳統樹脂開發中的挑戰。與恆坤新材科技合作，團隊旨在將該產品商業化，目前正進入客户驗證階段
（第一財經）5 月 12 日——上海人工智能實驗室與多個研究合作伙伴實現了氟化氪（KrF）光刻樹脂的穩定生產，這是一種用於芯片製造的關鍵材料，這一突破可能減少中國對進口高端光刻膠的依賴。
由上海人工智能實驗室、廈門大學和蘇州國家實驗室組成的聯合團隊開發了一個基於人工智能的智能合成平台，能夠生產高純度、高一致性和高效率的 KrF 光刻樹脂，上海實驗室昨日宣佈。該開發有助於緩解供應限制並降低中國半導體行業的材料成本。
光刻膠在芯片蝕刻過程中用於塗覆硅晶圓並阻擋光線，從而形成設計的電路圖案。根據聲明，高端光刻膠市場長期以來一直被日本、歐洲和美國的少數幾家公司主導，使得中國的芯片行業嚴重依賴進口。
研究團隊表示，該平台基於上海人工智能實驗室開發的 Intern-S1 科學多模態模型。該系統能夠獨立生成實驗計劃、優化參數和預測結果，顯著提高研發效率。
傳統的樹脂材料開發嚴重依賴研究人員的手動試錯篩選，導致開發週期長且操作不一致，難以滿足半導體行業嚴格的批次穩定性要求。
該平台還具備物理執行能力，能夠自動控制多個反應器和工作站，以閉環過程完成實驗。這有助於防止因手動操作導致的氧氣、水蒸氣和金屬雜質的污染，從而確保樹脂質量的穩定。
為了加速商業化，研究團隊已與國內半導體材料開發商恆坤新材合作進行光刻樹脂配方的準備。關鍵產品性能指標已達到預期目標，該材料將進入客户驗證階段，人工智能實驗室補充道。
編輯：Emmi Laine