中微公司

公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司，為集成電路和泛半導體行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務。公司開發的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現代數碼產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。公司主要從事高端半導體設備及泛半導體設備的研發、生產和銷售。公司產品主要是 CCP 刻蝕設備、ICP 刻蝕設備、薄膜沉積設備研發、MOCVD 設備、先進封裝相關設備、氣體淨化設備、分布式生態工業互聯網平台。公司榮譽有上海市科學技術獎、2011 年突出成果獎、中國專利金獎、2025 年榮獲第二十五屆中國專利獎銀獎等。