芯源微

公司成立于 2002 年，是由中科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業，致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。2019 年 12 月 16 日，公司在上交所科創板上市，成為 “遼寧省科創板第一股”。公司主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售。公司產品主要包括光刻工序塗膠顯影設備、單片式濕法設備。企業榮譽：公司先后獲得 “全國第一批專精特新 ‘小巨人’”、“國家級知識產權優勢企業”、“國家高技術產業化示範工程”、“國家級企業技術中心”、“遼寧五一勞動獎狀”、“第六屆全國專業技術人才先進集體”、“全國五一勞動獎狀” 等多項殊榮，公司產品先后獲得 “國家戰略性創新產品”、“國家重點新產品”、“遼寧省科學技術進步一等獎”、“遼寧省制造業單項冠軍產品”、“工業互聯網平台 + 雲端研發試點示範”、“第八屆 IC 創新獎” 等多項榮譽。