盛美上海

公司成立于 2005 年，是上海市政府科教興市項目重點引進的集成電路裝備企業，是具備世界先進技術的半導體設備制造商。公司主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售。公司主要產品為前道半導體工藝設備，包括清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、塗膠顯影 Track 設備、等離子體增強化學氣相沉積 PECVD 設備、無應力抛光設備;后道晶圓級先進封裝工藝設備、面板級先進封裝設備以及硅材料襯底制造工藝設備等。公司連續多年被評為 “中國半導體設備五強企業”，入選首批上海市科學技術委員會頒發的 “上海市集成電路先進濕法工藝設備重點實驗室”。獲得 2021 年度上海集成電路企業半導體設備業銷售前五名。公司前道銅互連電鍍設備榮獲第五屆 “IC 創新獎 - 成果產業化獎”。公司被評為上海市 “專精特新” 企業、國家級 “專精特新小巨人企業”、上海市企業技術中心、榮獲浦東新區川沙新鎮人民政府 “2022 年度公益慈善獎”、“上海市創新型企業總部”、“上海市制造業單項冠軍企業”、上海市專利示範企業等榮譽。2022 年獲浦東新區大企業開放創新中心 (GOI) 掛牌。