恆運昌(688785.SH)

公司是國內領先的半導體設備核心零部件供應商，主要從事等離子體射頻電源系統、等離子體激發裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發、生產、銷售及技術服務，並引進真空獲得和流體控制等相關的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。公司主要圍繞等離子體工藝打造產品矩陣，自研產品具體包括等離子體射頻電源系統 (等離子體射頻電源及匹配器)、等離子體激發裝置 (遠程等離子體源、射頻離子源)、等離子體直流電源、配件 (濾波器、阻抗調整器等);引進產品主要包括真空獲得和流體控制分別所需的真空泵、質量流量計等核心零部件;同時還為晶圓廠提供等離子體射頻電源系統原位替換及維修等技術服務。公司股票于 2026 年 1 月 28 日在上海證券交易所科創板上市。