【至純科技】半導體制程設備 14nm-7nm 訂單交付，芯片良率提升核心環節

【至純科技】（603690）半導體制程設備 14nm-7nm 訂單交付，芯片良率提升核心環節

半導體制程設備龍頭地位穩固，深度受益華為、中芯擴產。公司系統集成及支持設備國內龍頭地位穩固，核心客户均為行業一線用户如中芯國際、華虹、華力、華為、長江存儲、合肥長鑫等，2023 年一季度，公司新增訂單 21 億元，在手訂單保持高增長。H 擴產清洗設備最受益標的，2023 年訂單目標 55 億（半導體設備 20 億 ）。 

芯片良率提升重要環節。公司採用國際主流清洗技術 Nano Spray，實現芯片良率大幅提升，此前日韓掌控 95% 的市場佔有率。 

14nm-7nm 設備驗證重大突破。近期公司已經完成 14nm-7nm 設備 7 台訂單交付（量價增長 30% 以上），率先突破 14nm 及以下製程的濕法設備的研發。公司具備 28nm 及以上濕法去膠、刻蝕、清洗、刷洗等濕法工藝全系列的設備研發生產能力，覆蓋先進製程邏輯電路、高密度存儲、化合物半導體特色工藝等多個細分領域。 

日本半導體設備出口限制三季度開始實施，濕法清洗設備加速國產替代，藉此公司預計市佔率將達到 70%。 

公司產品延伸至光伏、面板等泛半導體領域，持續拓寬產品線。光伏領域已獲得 N 型電池產線濕法生產設備，已經與頭部企業隆基、通威、潤陽、晶科等實現對接供貨。