機構：預計 ASML High NA EUV 光刻機功耗約 1400 千瓦

TechInsights 表示，每台 ASML0.33NAEUV 光刻機的功耗就已經達到了 1170kW，而 0.55NA 光刻機的功耗預計將進一步增長至 1400kW。