上海芯上微裝科技股份有限公司亮相 2025 灣區半導體產業生態博覽會,以宣傳資料形式,展示其新型化合物半導體光刻機、激光退火設備、晶圓先進封裝量檢測設備、晶圓先進封裝光刻機以及鍵合設備方案。芯上微裝成立於今年 2 月,據展台工作人員介紹,該公司核心人員及技術資產來自上海微電子集團,業務定位能夠快速實現市場化的設備,而上海微則將專注前道核心設備開發。