
KLA 公司及其子公司设计、制造和销售用于半导体及相关电子行业的过程控制、过程启用和产量管理解决方案。该公司通过三个部门运营:半导体过程控制;特种半导体工艺;以及 PCB 和组件检测。它提供检查和审查工具,以识别、定位、表征、审查和分析各种表面上有图案和无图案晶圆的缺陷;计量系统用于测量图案尺寸、薄膜厚度、薄膜应力、层间对齐、图案放置、表面形貌和电光特性;化学过程控制设备;有线和无线传感器晶圆和掩模;晶圆缺陷检测、审查和计量系统;掩模检测和计量系统;晶圆检测和计量系统;以及半导体软件解决方案,提供运行时过程控制、缺陷偏差识别、过程修正和缺陷分类,以加速产量学习速度并降低生产风险。该公司还为半导体和微电子行业提供刻蚀、等离子体切割、沉积和其他晶圆处理技术和解决方案