高数值孔径的艰难销售：极紫外多重曝光技术实践曝光，未提及焦深：
“显然在市场营销中未提及，可以合理预期高数值孔径极紫外曝光无法为合理的抗蚀剂厚度提供足够的焦深，而未来的超高数值孔径（至少 0.75）情况会更糟。”
来源：芯片与晶圆
本文版权归属原作者/机构所有。
当前内容仅代表作者观点，与本平台立场无关。内容仅供投资者参考，亦不构成任何投资建议。如对本平台提供的内容服务有任何疑问或建议，请联系我们。
发表你的评论
暂无评论
搜索...
高数值孔径的艰难销售：极紫外多重曝光技术实践曝光，未提及焦深：
“显然在市场营销中未提及，可以合理预期高数值孔径极紫外曝光无法为合理的抗蚀剂厚度提供足够的焦深，而未来的超高数值孔径（至少 0.75）情况会更糟。”
来源：芯片与晶圆
本文版权归属原作者/机构所有。
当前内容仅代表作者观点，与本平台立场无关。内容仅供投资者参考，亦不构成任何投资建议。如对本平台提供的内容服务有任何疑问或建议，请联系我们。