KLA 声称其工具耗材极少。大部分工具价值来自性能保证和系统正常运行时间。根据 KLA 的数据，每台工具在其生命周期内的服务收入现在等于该工具的 ASP，而 2013 年这一比例为 40-50%。其服务业务增长指引为 10-12% 的 LTM 复合年增长率。此外，KLA 表示第三方可能能够在受限的晶圆厂中提供服务，但性能可能无法与 KLA 的服务相匹配（在美银证券会议上的评论）。

来源：Sravan Kundojjala