泛林集團

Lam Research Corporation 設計、制造、銷售、翻新和服務用于集成電路制造的半導體加工設備，業務遍及美國、中國、韓國、中國台灣、日本、東南亞和歐洲。該公司提供 ALTUS 系統，用于沉積鎢或鉬金屬化應用的符合性或選擇性薄膜；SABRE 電化學沉積產品用于銅互連過渡，支持銅大馬士革制造；Striker 單片原子層沉積產品用于介電薄膜解決方案；以及 VECTOR 等離子體增強化學氣相沉積 (CVD) 產品。它還提供 Akara，一種導體刻蝕系統，旨在提高刻蝕精度、選擇性和缺陷控制；Argos、Prevos 和 Selis，這些是用于制造需要在納米尺度上精確控制的先進邏輯和存儲設備的選擇性刻蝕系統；Flex 用于介電刻蝕應用；Vantex，一種介電刻蝕系統，提供 RF 技術和通過設備智能解決方案實現的可重复的晶圓間性能；Kiyo 用于導體刻蝕應用；Syndion 用于深硅刻蝕；以及 Versys 金屬產品用于金屬刻蝕過程。此外，該公司還提供 Coronus 倒角清潔產品，以提高芯片良率，以及 Da Vinci、DV-Prime、EOS 和 SP 系列產品，以滿足各種晶圓清潔應用