ASML、AMAT、Lam 和 KLA 均參與了 Terafab 項目。SpaceX 將在試點產線上投入 30 多億美元,在第一階段大規模晶圓廠投入 168 億美元。KLA 在 Terafab 的早期爬坡中可能發揮關鍵作用(提供檢測與量測設備),以解決工藝缺陷並加速良率學習。
來源:Sravan Kundojjala
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