據報道，中國的 SiCarrier 公司利用自對準四重曝光（SAQP）技術，有望在 5 納米 DUV

2025.03.26 04:45

據報道，中國的 SiCarrier 公司利用自對準四重曝光（SAQP）技術，有望在 5 納米 DUV 光刻領域取得突破...

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#中國半導體 $阿斯麥(ASML.US)

來源：芯片與晶圓

https://www.trendforce.com/news/2025/03/25/news-huawei-linked-firm-reportedly-eyes-duv-breakthroughs-for-5nm-chips-debuting-products-this-week/

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