KLA 聲稱其工具耗材極少。大部分工具價值來自性能保證和系統正常運行時間。根據 KLA 的數據，每台工具在其生命週期內的服務收入現在等於該工具的 ASP，而 2013 年這一比例為 40-50%。其服務業務增長指引為 10-12% 的 LTM 複合年增長率。此外，KLA 表示第三方可能能夠在受限的晶圓廠中提供服務，但性能可能無法與 KLA 的服務相匹配（在美銀證券會議上的評論）。

來源：Sravan Kundojjala