机构：预计 ASML High NA EUV 光刻机功耗约 1400 千瓦

TechInsights 表示，每台 ASML0.33NAEUV 光刻机的功耗就已经达到了 1170kW，而 0.55NA 光刻机的功耗预计将进一步增长至 1400kW。