高數值孔徑的艱難銷售：極紫外多重曝光技術實踐曝光，未提及焦深：
“顯然在市場營銷中未提及，可以合理預期高數值孔徑極紫外曝光無法為合理的抗蝕劑厚度提供足夠的焦深，而未來的超高數值孔徑（至少 0.75）情況會更糟。”
來源：芯片與晶圓
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“顯然在市場營銷中未提及，可以合理預期高數值孔徑極紫外曝光無法為合理的抗蝕劑厚度提供足夠的焦深，而未來的超高數值孔徑（至少 0.75）情況會更糟。”
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